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氣體凈化

半導體芯片制造過程中需要高純度的氣體，活性炭可以吸附氣體中的雜質(zhì)，凈化氣體。

化學試劑凈化

芯片制造中使用的化學試劑也需要凈化，活性炭可以去除其中的有害物質(zhì)。